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基于电子束蒸发设备的自动换靶装置

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基于电子束蒸发设备的自动换靶装置

15000.00

专利(申请号):2017106085257

专利 ID :CN107217237B

法律状态:专利权维持

更新日期:2020-09-19

所属分类:C23C14/30

委托平台办理

专利申请人:无锡南理工科技发展有限公司

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专利详情
本发明公开了一种基于电子束蒸发设备的自动换靶装置,包括升降机构和位于真空镀膜腔内的靶容器,还包括备用靶材腔和控制单元,备用靶材腔设置在真空镀膜腔外且位于所述靶容器的下方,备用靶材腔与所述真空镀膜腔相连接,且中间设有阀门以隔离或连通;升降机构贯穿备用靶材腔、真空镀膜腔与靶容器的底部相连接;升降机构用于在进行蒸镀工艺时将靶材实时根据靶材的消耗量向上移动靶材和当消耗完一个靶材后将备用靶材腔中的靶材移动至真空镀膜腔内;备用靶材腔设有腔门,且备用靶材腔连接有真空泵和气阀;控制单元包括升降控制单元和真空控制单元;升降控制单元与升降机构相连接;真空控制单元与真空泵、机械泵和气阀相连接。

专利交易流程

Patent transaction steps

资料过户
买卖双方需提供资料
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身份证
专利证书原件
平台提供 过户后您将获得
专利代理委托书
专利权转让协议
办理文件副本请求书
发明人变更声明
专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
常见问题

Q:专利年费如何缴纳?

A:授予专利权当年的年费,应在授予专利权通知书中指定的期限内缴纳,以后的年费应在前一年度期满前一个月内预缴。如果没按规定时间缴纳或缴纳数额不足,可在年费期满之日起6个月内补缴,同时缴纳相应数额的滞纳金。

Q:专利的有效期是多少年?

A:发明专利20年;实用新型专利10年;外观设计专利10年。

Q:购买专利的时候要注意些什么问题?

A:1、专利有效期长短。每个专利都有一定有效期,例如实用和外观有效期10年,发明是20年。购买时需要留意您所购买的专利有效期还有多久。
2、专利权人。查看专利权人是否是出售专利者,专利权人是否有多个。避免出现出售者无权销售专利,签订合同无效的情况。
3、专利类型。专利名称会有多个类似,要确认您购买的专利是哪个类型的,与合同是否一致。
4、专利目前授权使用情况。该专利是否有许可转让甚至独占许可过,这些都需要在合同中列明,避免购买了独占许可的专利,而无法使用。
5、专利是否出于有权状态。(是否存在未及时缴纳年费或者被宣布无效等情况)

Q:买的专利多久能下证?

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《手续合格通知书》。