本发明属于半导体芯片制造技术领域，具体的说是一种半导体芯片生产工艺，该工艺采用刻蚀机，刻蚀机包括箱体、偏压装置、机械卡盘、抽吸泵、激励线圈、驱动电机、连杆和调节装置；驱动电机转轴通过万向轴连接着机械卡盘，机械卡盘用于固定晶圆；连杆一端铰接在机械卡盘外圈；连杆另一端通过滚珠滑动安装在箱体内壁的凸轮槽内，激励线圈用于将刻蚀气体激发成等离子体；偏压装置用于对机械卡盘中的晶圆施加偏压；调节装置用于向箱体内注入刻蚀气体，抽吸管设在箱体底部，抽吸管用于抽离刻蚀反应产物。通过驱动电机控制机械卡盘转动，通过机械卡盘外圈设置连杆，连杆在凸轮槽内滑动，使得机械卡盘中的晶圆摆动，便于刻蚀反应产物的排离。

专利交易流程

Patent transaction steps

买卖双方需提供资料
	公司	个人
买家	企业营业执照 企业组织机构代码证	身份证
卖家	企业营业执照 专利证书原件	身份证 专利证书原件

平台提供	过户后您将获得
专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明	专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本

Q:专利年费如何缴纳？

A:授予专利权当年的年费，应在授予专利权通知书中指定的期限内缴纳，以后的年费应在前一年度期满前一个月内预缴。如果没按规定时间缴纳或缴纳数额不足，可在年费期满之日起6个月内补缴，同时缴纳相应数额的滞纳金。

Q:专利的有效期是多少年？

A:发明专利20年；实用新型专利10年；外观设计专利10年。

Q:购买专利的时候要注意些什么问题？

A:1、专利有效期长短。每个专利都有一定有效期，例如实用和外观有效期10年，发明是20年。购买时需要留意您所购买的专利有效期还有多久。
2、专利权人。查看专利权人是否是出售专利者，专利权人是否有多个。避免出现出售者无权销售专利，签订合同无效的情况。
3、专利类型。专利名称会有多个类似，要确认您购买的专利是哪个类型的，与合同是否一致。
4、专利目前授权使用情况。该专利是否有许可转让甚至独占许可过，这些都需要在合同中列明，避免购买了独占许可的专利，而无法使用。
5、专利是否出于有权状态。（是否存在未及时缴纳年费或者被宣布无效等情况）

Q:买的专利多久能下证？

A:著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《手续合格通知书》。