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集成电路用低介电常数薄膜层的制备工艺

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集成电路用低介电常数薄膜层的制备工艺

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专利(申请号):2014101364804

专利 ID :CN103887233A

法律状态:专利权维持

更新日期:2021-09-27

所属分类:H01L21/768

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专利申请人:苏州大学

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专利详情
本发明公开一种集成电路用低介电常数薄膜层的制备工艺,包括:抽除炉体内气体;当炉体内真空度小于10混合均匀并注入耐压不锈钢釜内,将鼓泡氮气、惰性气体分别从第一进气管、第二进气管注入并依次经过第一耐压混气罐、耐压不锈钢釜、第一喷嘴送入炉体内;沉积结束后,将已沉积的薄膜层转移至炉体的加热温区内进行退火处理后,从而获得低介电常数薄膜层。本发明实现了便捷精确调控薄膜介电常数值并获得了低介电常数值的薄膜层,此薄膜层化学成分更均匀,具有较好的热稳定性、硬度,提高了薄膜的平整度。

专利交易流程

Patent transaction steps

资料过户
买卖双方需提供资料
公司 个人
买家 企业营业执照
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卖家 企业营业执照
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身份证
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专利代理委托书
专利权转让协议
办理文件副本请求书
发明人变更声明
专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
常见问题

Q:专利年费如何缴纳?

A:授予专利权当年的年费,应在授予专利权通知书中指定的期限内缴纳,以后的年费应在前一年度期满前一个月内预缴。如果没按规定时间缴纳或缴纳数额不足,可在年费期满之日起6个月内补缴,同时缴纳相应数额的滞纳金。

Q:专利的有效期是多少年?

A:发明专利20年;实用新型专利10年;外观设计专利10年。

Q:购买专利的时候要注意些什么问题?

A:1、专利有效期长短。每个专利都有一定有效期,例如实用和外观有效期10年,发明是20年。购买时需要留意您所购买的专利有效期还有多久。
2、专利权人。查看专利权人是否是出售专利者,专利权人是否有多个。避免出现出售者无权销售专利,签订合同无效的情况。
3、专利类型。专利名称会有多个类似,要确认您购买的专利是哪个类型的,与合同是否一致。
4、专利目前授权使用情况。该专利是否有许可转让甚至独占许可过,这些都需要在合同中列明,避免购买了独占许可的专利,而无法使用。
5、专利是否出于有权状态。(是否存在未及时缴纳年费或者被宣布无效等情况)

Q:买的专利多久能下证?

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《手续合格通知书》。